| Flexure |
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| • | Slider
2 (mirror, direct imaging) |
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| – | X=9
px pk-pk, y=14 px pk-pk |
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| – | Rotation:
0.5 px pk-pk center to edge |
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| • | Slider
3 (grating) |
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| – | X=20
px pk-pk, y=13 px pk-pk |
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| – | Rotation:
1.3 px pk-pk center to edge |
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| • | Slider
4 (grating) |
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| – | X=16
px pk-pk, y=9 px pk-pk |
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| – | Rotation:
0.7 px pk-pk center to edge |
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