| Grating
System |
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| TILT STAGE |
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| • | Tilt
resolution – 1.4 arcsec |
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| • | Tilt
Position repeatability 1.4 |
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| arcsec |
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| • | Tilt
position stability <<1.4 |
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| arcsec |
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| TRANSPORT STAGE |
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| • | Position
repeatability +/-0.030 in |
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| x,y in |
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| • | Position
repeatability +/-0.0005 |
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| in z |
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| • | Position
stability -+/- 10 arcsec |
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